進駐台灣超過30年的德商創浦（TRUMPF），為了「就近服務」台灣半導體產業，以及支援整個東南亞、日本與韓國市場，於近日在桃園啟用全新的區域性電漿電源技術中心。

創浦的極紫外光（EUV）雷射系統、高功率雷射及先進電漿電源，是製造最先進微晶片（Microchip，廣泛應用於人工智慧、智慧型手機與資料中心等領域）所需的關鍵技術。其中，創浦研發長達20多年的電漿電源，更是實現先進製程節點（Next-Generation Nodes）的關鍵元件，透過精準控制產生電漿，以每秒10萬次頻率，快速提升、降低極高電壓，產生短暫而強大的脈衝，進而在矽晶圓製造奈米等級的3D極細微結構，使得多層晶片架構得以實現。

台灣的晶圓代工業在先進製程、先進封裝的推進上，保持領先地位。而創浦新啟用的電漿電源技術中心，配備先進基礎設備，以及受過訓練且經驗豐富的團隊，提供在地完成電漿電源分析、維修與校正的服務，並符合最高等級的無塵室與品質標準。如此一來，這座新技術中心不僅能強化與台灣半導體客戶的緊密連結、縮短服務時間與降低碳足跡，也進一步協助客戶將設備翻新並延長使用壽命，落實循環經濟。

循環經濟成主流 導入AI提高服務效率



創浦全球首席技術官Dr. Berthold Schmidt接受訪問時表示，以往台灣半導體客戶遇到電漿電源系統故障時，必須將龐大的機台運往歐洲維修，然後再將修好的機台運回台灣，這不僅曠日費時，更增加運送過程的碳排放，對客戶來說並不划算；為此，創浦在桃園成立區域性電漿電源技術中心，能即時就地支援客戶、滿足大部分的維修需求，一來可大幅減少維修與維護的時間，二來亦能則幫助客戶實踐企業的永續目標。

Dr.Schmidt強調，全球半導體產業將既有的機台進行翻新、升級，藉以降低投資設備的成本，已是方向明確的趨勢。根據創浦2024~2025年報顯示，創浦致力將翻新零件安裝於新機台中，尤其是品質特別優異且狀況良好的二手零件，可以被修復至原始狀態，並用於新機台；目前，創浦正與其客戶、半導體光刻機龍頭ASML合作，為EUV微影技術的高功率雷射組件，開發標準化流程，在首批再利用組件的案例中，包括種子雷射（seed lasers）中的壓電元件（piezoelectric elements）、鑽石視窗（diamond windows），以及電漿產生器（plasma generators）。



由於一般半導體機台的使用年限約20年之久，客戶在機台運作期間，勢必要求供應商為機台進行翻新與維修，「這對創浦來說，是一個非常好的發展機會，因為創浦擁有相關的核心技術跟能力，特別是在電漿電源，我們可以幫客戶導入最先進的技術，完成機台的升級與維修。」Dr.Schmidt指出，以電漿電源技術中心提供的維修替換模組，可達成恢復至幾乎全新的狀況，為系統使用壽命延長10~15年，而且創浦還採用由AI支援的資料分析工具，避免產生不必要的測試，從而提高服務效率。

隨著AI成為全球數位化轉型重要的驅動力，創浦在AI製造領域進行大量投資，所研發的AI驅動系統優化生產流程，並提高產品品質和生產效率。

Dr. Schmidt以電漿電源測試為例指出，過去測試必須進行一段時間的運作後，才會了解電漿特性、電源輸出穩定性等效果，「但自從我們運用AI蒐集運作的數據，進而快速了解電漿的特性，而且只要短短的幾分鐘就能完成測試，在追求大幅降低測試過程的耗電量與時間，至目前為止可說是非常成功。」

掌握半導體業動態 提供技術滿足客戶所需

作為半導體製造設備核心元件供應商的創浦，在半導體產業面臨晶圓結構持續縮小、3D結構日益複雜、新材料應用，以及對精準度和耗能要求極致等巨大挑戰下，稱職地擔任關鍵技術驅動者的角色，利用技術幫助產業推動創新，並將技術更快推向市場，生產次世代高效能晶片，應用於行動通訊、雲端與邊緣運算，以及其他AI相關技術。

例如，高階記憶體與邏輯晶片的電晶體3D結構，愈變愈複雜，GAA（環繞式閘極）已經取代FinFET（鰭式場效電晶體），成為下一代電晶體技術。Dr.Schmidt表示，製造GAA電晶體架構需要高達100多個流程，而創浦的低溫電漿輔助ALD（原子層沉積）等持續優化的專業技術，就能支援其中八成的製程。

「我們提供GAA所需要的電漿技術，並結合自己的製程知識跟專業能力，成為在半導體領域中不可或缺且極其關鍵的技術擁有者與驅動者。」Dr.Schmidt指出，整個半導體產業與技術發展極為快速，創浦不只看技術導入產業的過程，更即時了解產業的整個動態與需求，藉此布局相關應用技術與整體策略。

就是因為緊盯半導體產業趨勢，並供應技術滿足所需，創浦成為全球所有主要設備廠與晶片製造商的合作夥伴。去年，全球晶片代工巨擘們開打2奈米以下超先進製程的競賽時，與創浦長期合作的台積電執行長魏哲家，特地前往創浦的德國總部拜訪，了解微製程所需的相關技術。到了今年，創浦獲得應用材料及ASML頒發的傑出供應商獎項，表彰其以先進、節能且可靠的解決方案，以及高度現代化的產品，支援半導體製造。

即使獲得產業巨擘的認同，但創浦從來不自滿。「半導體客戶的要求都相當嚴格，我們提供的技術永遠要精益求精。」Dr.Schmidt的一席話，展現創浦致力為市場開發新技術與解決方案的務實態度；同時，當客戶追求創新時，創浦也能以可信賴的合作夥伴之姿，與客戶一起共榮。