隨著半導體技術的演進,晶圓製造過程中的測試階段變得愈加重要。據研調機構Lucintel預測,2024年至2030年,全球半導體檢測和測量設備市場將以5%的年複合成長率(CAGR)成長。主要動能自於物聯網(IoT)、5G和AI等發展,這些應用對晶片效能、功耗與可靠性的要求提升,使半導體製程愈趨精細複雜,進而推升對高品質檢測與測量設備的需求。此外,隨著晶片設計更加複雜與微縮,測試時間亦明顯拉長,進一步凸顯高效測試解決方案的重要性。
晶圓在經過前段製程完成後,需進行功能與性能的測試,以判斷晶片是否能符合規格運作。其中,晶圓檢測探針卡(Probe Card)扮演關鍵角色,此階段需利用探針卡與自動測試設備(ATE)配合,透過探針接觸晶圓上每個裸晶的接腳,逐一量測,測試條件包括電壓、電流、頻率等參數,對其精度與穩定度要求極高。
作為晶圓測試機台與晶片電路之間的橋梁,探針卡負責將測試訊號精準傳送至待測晶片,並回傳訊號進行功能或良率檢測,其品質與性能影響整體測試結果的準確性與效率。
先進製程快速擴張
推升高階探針卡需求
據公開資料顯示,探針卡的平均壽命約為100萬次接觸,但在高階應用,如先進封裝測試中,因測試條件更為嚴苛,其壽命可能僅有數十萬次。