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製程廢物回收能再做晶片?台積電零廢製造中心商轉,2道工序成本年省15億
撰文者:風傳媒 / 張薰云 更新時間:2024-11-21
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圖片來源:達志影像
摘要
台積電(2330)曾在2022年CSR報告書立下2030年零廢棄的願景,台中零廢製造中心是首要功臣。台積電11月13日在中部科學園區舉辦零廢製造中心商轉儀式,更加碼和環境部簽訂碳捕捉合作備忘錄(MoU)。
台積電(2330)曾在2022年CSR報告書立下2030年零廢棄的願景,台中零廢製造中心是首要功臣。台積電11月13日在中部科學園區舉辦零廢製造中心商轉儀式,更加碼和環境部簽訂碳捕捉合作備忘錄(MoU)。
台中零廢製造中心由台積電和中科管理局合作建置,2022年年底動土、2023年開始試營運。園區內有3家合作廠商和台積電一起執行減廢工作,分別設有氟化鈣汙泥回收廠、氧化矽汙泥回收廠、有機溶劑熱回收廠,以及異丙醇回收廠,可將先進製程的副產物回收、再製為新產品,達到循環經濟的效果。
台積電資深副總經理秦永沛表示,台中零廢製造中心每年可收取公司13萬公噸的廢棄物,占中科廠區廢棄物總量的85%。透過台中零廢製造中心,台積電每年可減少15億元的環境成本,包含了4億公噸二氧化碳當量。
創造材料全循環,回收異丙醇再利用
在台中零廢製造中心,長春石化將去油汙用的有機溶劑異丙醇(IPA)回收後,再次純化為6N級異丙醇,回歸半導體製程使用,達成封閉循環。
成信實業則接收研磨製程的矽廢水,乾燥處理為氧化矽,進一步處理為工業用硫酸和人造礦石粉(晶瓷粉)。人造礦石粉可取代塑膠,用來製作鞋子等再生經濟產物。
而立盈環保科技則將清洗晶圓用的氫氟酸,經脫水處理後製成75%人造螢石,可用於鋼鐵業的助燃劑。未來立盈還會和台積電將合作純化至97%酸級螢石,回歸至半導體製程使用。
最後,台積電自己也有一座「有機溶劑熱回收廠」,這座廠將溶劑燃燒乳化,達到將近攝氏1,000度高溫。為了回收能源,台積電設計了2道熱回收程序,先將159℃的廢熱製成蒸氣,轉供給長春石化執行異丙醇再純化,再將產完蒸氣後的330℃煙道氣進行第2次熱回收。
經過2道熱回收的廢氣,再接受空汙防治設備處理;在煙道,台積電設置了「薄膜碳捕捉」設備來捕捉CO2,達到優於法規標準的程度才對外排放。
台積電啟動碳捕捉試驗,環境部盼導入全台
環境部長彭啟明出席台積電與環境部合作備忘錄簽署儀式時,說:「台積電幫台灣打造了第1座零廢棄中心,環境部正在規畫,未來全台灣各地都要有全循環的中心。」
彭啟明提到,科技進步的同時,「大家都要AI,可是不要這些東西(指廢棄物)」是台灣很大的問題,為解決鄰避觀念,他認為從台積電創造範例開始,各行各業都可以使用,藉此更有效地減碳。
此次台積電對外公布與環境部合作碳捕捉合作項目,公司也說明,台積電和MTR研究室共同研發的薄膜碳捕捉設備(Membrane-Based CO2 Capture),現正於台中零廢製造中心進行示範點trial run(試產),後續將與環境部合作導入全台20多座焚化爐,達到全面展開的計畫。
本文獲「風傳媒」授權轉載,原文:製程廢物回收能再做晶片?台積電零廢製造中心商轉,2道工序年省15億成本
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