製程廢物回收能再做晶片？台積電零廢製造中心商轉，2道工序成本年省15億

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圖片來源：達志影像

摘要

台積電（2330）曾在2022年CSR報告書立下2030年零廢棄的願景，台中零廢製造中心是首要功臣。台積電11月13日在中部科學園區舉辦零廢製造中心商轉儀式，更加碼和環境部簽訂碳捕捉合作備忘錄（MoU）。

台中零廢製造中心由台積電和中科管理局合作建置，2022年年底動土、2023年開始試營運。園區內有3家合作廠商和台積電一起執行減廢工作，分別設有氟化鈣汙泥回收廠、氧化矽汙泥回收廠、有機溶劑熱回收廠，以及異丙醇回收廠，可將先進製程的副產物回收、再製為新產品，達到循環經濟的效果。

台積電資深副總經理秦永沛表示，台中零廢製造中心每年可收取公司13萬公噸的廢棄物，占中科廠區廢棄物總量的85%。透過台中零廢製造中心，台積電每年可減少15億元的環境成本，包含了4億公噸二氧化碳當量。

創造材料全循環，回收異丙醇再利用

在台中零廢製造中心，長春石化將去油汙用的有機溶劑異丙醇（IPA）回收後，再次純化為6N級異丙醇，回歸半導體製程使用，達成封閉循環。

成信實業則接收研磨製程的矽廢水，乾燥處理為氧化矽，進一步處理為工業用硫酸和人造礦石粉（晶瓷粉）。人造礦石粉可取代塑膠，用來製作鞋子等再生經濟產物。

而立盈環保科技則將清洗晶圓用的氫氟酸，經脫水處理後製成75%人造螢石，可用於鋼鐵業的助燃劑。未來立盈還會和台積電將合作純化至97%酸級螢石，回歸至半導體製程使用。

最後，台積電自己也有一座「有機溶劑熱回收廠」，這座廠將溶劑燃燒乳化，達到將近攝氏1,000度高溫。為了回收能源，台積電設計了2道熱回收程序，先將159℃的廢熱製成蒸氣，轉供給長春石化執行異丙醇再純化，再將產完蒸氣後的330℃煙道氣進行第2次熱回收。

經過2道熱回收的廢氣，再接受空汙防治設備處理；在煙道，台積電設置了「薄膜碳捕捉」設備來捕捉CO2，達到優於法規標準的程度才對外排放。

環境部長彭啟明出席台積電與環境部合作備忘錄簽署儀式時，說：「台積電幫台灣打造了第1座零廢棄中心，環境部正在規畫，未來全台灣各地都要有全循環的中心。」

彭啟明提到，科技進步的同時，「大家都要AI，可是不要這些東西（指廢棄物）」是台灣很大的問題，為解決鄰避觀念，他認為從台積電創造範例開始，各行各業都可以使用，藉此更有效地減碳。

此次台積電對外公布與環境部合作碳捕捉合作項目，公司也說明，台積電和MTR研究室共同研發的薄膜碳捕捉設備（Membrane-Based CO2 Capture），現正於台中零廢製造中心進行示範點trial run（試產），後續將與環境部合作導入全台20多座焚化爐，達到全面展開的計畫。

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