應用範圍逐漸擴大
2014年市場規模將達35億美元
MEMS帶來一場感測器的革命,這種技術,讓電子產品可以無時無刻都能偵測到壓力、方向、速度、聲音,更聰明的與人互動。但它的原理到底是什麼?維納表示,MEMS代表的是Micro Electro Mechanical Systems。過去,半導體晶圓廠只能在晶圓上蝕刻出電路,做出一顆顆IC(積體電路,也就是俗稱的晶片);生產MEMS的晶圓廠做的事卻不一樣,他們利用同樣的蝕刻原理,在晶圓上刻出一個個微小的機械裝置。
以MEMS麥克風為例, 晶圓廠要生產MEMS麥克風,是先在矽晶圓上,挖出一個一個只有毫米大小的小洞,注入藥水,在晶圓中侵蝕出一個小洞,再在洞上蓋上一層薄薄的蓋子,完成的成品,就像一個毫米大小的紙盒。
當外界有聲音的時候,聲波會讓這層只有幾毫米大小的「蓋子」振動,改變上面的電壓,傳出去的電壓波動,就能把聲音記錄下來。更棒的是,一片晶圓上,一次就能生產出上千個MEMS麥克風,不但成本因此大幅降低,麥克風也做到只有米粒大小,一個一元銅板可放上8、9個MEMS麥克風,手機不但能空出位置安裝更多功能,還增加了防噪的好處。
「未來幾年,MEMS將會高速成長,」維納分析,目前MEMS最有成長潛力的應用,包括加速度計、陀螺儀、壓力感測計、麥克風和磁力計等5種。
「今年最紅的會是陀螺儀(Year o fgyroscope)」他預估,從2009年到2014年,全球陀螺儀市場規模將以每年15%的速度成長,MEMS麥克風成長力道更強,每年將以24%速度成長,到2014年,這兩項產品合計的市場規模,將達35億美元。